专为加工半导体工艺耗材中的难加工材料而设计

全球第三大、韩国第一的机床制造商 DN Solutions(迪恩机床) 于 11 月 4 日宣布，正式推出全新 DNC 系列（DNC 8050、DNC 8060）高精度磨削机床——这是半导体制造中不可或缺的关键设备。

“DNC” 的名称来源于 DN Solutions Ceramic，代表公司专门用于陶瓷加工的设备。该系列机床专为制造半导体晶圆工艺中使用的消耗性零部件（如对焦环等）而设计。由于这些部件需在高温及化学环境下工作，因此通常由石英、陶瓷或碳化硅（SiC）等材料制成——这些材料都极难加工。而 DNC 系列 正是为实现这些难加工材料的高精度磨削而诞生的。

DN Solutions 技术驱动的石英与陶瓷高精度加工

石英比碳钢更坚硬，但却极为脆弱，容易在加工过程中破裂，因此传统机床难以胜任。即使使用昂贵的金刚石刀具，也常常会产生微裂纹或破损。此外，石英对杂质极为敏感，因此需要极其洁净和精密的加工环境。

为应对这些挑战，DN Solutions 自主开发了专用于 DNC 系列的高性能磨削主轴，其最高转速可达 10,000 rpm，输出功率达 7.5 kW。该主轴不仅可在加工石英、陶瓷等难加工材料时保持高生产率，还能确保极高的加工精度。

DNC 系列同时最大限度地减少了振动和热变形带来的误差。高刚性一体化床身与高精度进给导轨能够有效抑制振动，并在长时间连续加工中防止因热位移造成的精度下降。传统机床常因主轴偏移而导致精度衰减，而 DNC 系列通过增强结构刚性，实现了长期稳定的高精度和更长的设备寿命。

洁净解决方案：石英粉尘与砂轮修整问题的完美应对

在加工过程中产生的石英微尘（污泥）可能导致设备故障。为防止这一问题，DN Solutions 采用了 全封闭式滑动护罩结构，覆盖机床倾斜床面的整个区域，防止切削液与粉尘进入机床内部。同时，直线型可拆卸冷却液箱 的设计大大简化了污泥清理与维护。

此外，DNC 系列配备了 自动砂轮修整主轴系统，可在不停止加工的情况下自动进行修整操作。由于在磨削过程中，砂轮表面会不可避免地被碎屑堵塞，因此定期修整以恢复其形状与切削性能是必需的。传统设备通常需要暂停加工进行人工修整，而 DNC 系列可实现自动化连续修整，显著提升效率与生产率。

多功能一体化与自动化：效率与精度的结合

DNC 系列将 车削中心（车床） 的功能与 加工中心（铣床） 的复合功能相结合，可在一次装夹中完成内径、外径、孔及轮廓等多种加工操作。设备还配备 自动换刀系统（ATC）、自动刀具测量装置 及 自动工件测量装置，可实现全自动化加工，降低操作人员负担，并大幅提高生产效率。


DN Solutions 相关负责人表示：“DN Solutions 已占据韩国半导体材料加工设备市场约 50% 的份额，在部分工艺环节中更接近 80%。全新的 DNC 系列基于我们长期积累的专业技术与现场经验，将为全球客户提升制造竞争力与技术实力发挥关键作用。”